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NCシリコンウエーハ端面研削盤WX-7421







机床用途与性能特征:
1、本机床用于太阳能行业单晶、多晶硅材料长方体的平面磨削加工,表面镜面抛光循环磨削功能,对原来硅锭的平面垂直度起到修整功能,确保硅锭四面及棱边的损伤层有效的去除。
2、控制系统采用日本三菱系统。
3、采用机械方式自动对中心磨削、自动压紧,定位准确,固定可靠;磨削表面光洁度高。
4、砂轮进给采用三菱伺服电机驱动滚珠丝杠,具有很高定位精度,以保证获得两平面间的尺寸误差。
5、机床所有电气元器件均采用三菱、施耐德等国际国内知名品牌产品,保证机床控制系统稳定可靠。

磨削后工件的公差及表面粗糙度
两平面平行度  0.01mm
垂直度  0.02mm
尺寸误差  0.02mm
粗糙度  Ra0.2m
 
工件规格
125×125/156×156mm
工件长度
max500mm
砂轮主轴数
2个
砂轮尺寸
Ф200×Ф70×Ф190mm
切削(研磨)速度
0.01--15m/min
端面砂轮最小进给量
1um
砂轮线速度
35m/s
总功率
3kw
机床外形尺寸(长X宽X高)
2000X1950X1350mm
机床重量
3000kg
冷却水接口
R1/4〞,25L/min







 










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